下载硅棒多工位开方设备及其多工位切割方法的技术资料

文档序号:26156740

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本申请公开一种硅棒多工位开方设备及其多工位切割方法,包括:至少两个硅棒承载台,用于承载立式置放的单晶硅棒,各所述硅棒承载台具有转动机构;受升降装置驱动的线切割装置,其中,所述升降装置包括升降导轨和第一驱动机构;硅棒压紧装置,架设于所述升降导...
该专利属于天通日进精密技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天通日进精密技术有限公司授权不得商用。

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