下载一种金刚线切割多晶硅片的表面处理方法的技术资料

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本发明公开了一种金刚线切割多晶硅片的表面处理方法。该方法为:利用喷砂工艺,先对硅片表面进行喷砂处理,再将其放入含有氢氟酸、硝酸和添加剂的混合溶液中进行制绒;所述喷砂工艺为湿法喷砂,所述湿法喷砂是指将水与磨料所混合的喷砂液利用泵加压经由喷嘴射...
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