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本发明公开一种主轴组件，用于基板磨削设备，基板磨削设备包括工作台，主轴组件包括主轴、第一部件和第二部件，第一部件用于连接到工作台，第二部件用于可拆卸地连接到第一部件，在主轴组件安装到工作台时，第一部件和第二部件围绕主轴设置，将主轴保持在位，...
该专利属于华海清科股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华海清科股份有限公司授权不得商用。

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