温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种激光复合扫描近场光学显微镜探针的纳米加工方法，先通过磁控溅射仪在硅片基底表面溅射一层银薄膜，然后搭建激光复合SNOM探针加工平台，实现SNOM探针的精准位置控制以及激光与SNOM探针针尖小孔的精确复合加工，最后设置激光参数并在样品表面进...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。