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公开了一种用于处理基板的装置和方法。该装置包括：支承单元，其支承包括待去除的膜的基板；激光生成单元，其生成激光束以处理待去除的膜；分束器，其将从激光生成单元发射并引导至分束器的激光束分成沿着朝向基板的上边缘的第一路径行进的第一激光束、和沿着...
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