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本发明公开了一种具有辅助电极层的硅电极及其制备方法、应用和专用夹具。所述硅电极包括重掺杂硅基体、隔离层、辅助电极层、绝缘层和导电端；主电极表面设置有厚度为亚微米尺度的辅助电极，二者独立供电，分时、切换参与电解加工。其专用夹具使硅电极高速旋转...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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