下载一种二维材料转移组装系统的技术资料

文档序号:26149223

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本发明提出一种二维材料转移组装系统,属于光电子器件领域;该系统包括底座基板,操作系统和成像观察系统,操作系统是由XY+θ二维平面转角样品台和三维(XYZ)手动操作台组成,XY+θ二维平面转角样品台用于放置和调节衬底材料及其位置,三维(XYZ...
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