温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种用于真空等离子体设备的进气管结构，包括腔体，所述腔体内壁设置一个或多个进气管，每个进气管对应两个位于腔体上的进气口，每个进气管上均设有多个出气孔，本实用新型提出的进气管结构优化腔体内进气分布，可以获得更好的腔体内气体均匀...
该专利属于上海稷以科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海稷以科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。