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一种三级混合气冷罗茨真空机组制造技术
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文档序号:26137903
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本实用新型涉及抽真空设备技术领域,尤其是一种三级混合气冷罗茨真空机组,罗茨泵包括依次连接的一级泵、二级泵和三级泵,二级泵和三级泵上均设有排气口和冷气返气口,冷凝器包括二级冷凝器和三级冷凝器,二级泵排气口通过二级排气管道连接二级冷凝器壳程后通...
该专利属于淄博华中真空设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过淄博华中真空设备有限公司授权不得商用。
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