一种三级混合气冷罗茨真空机组制造技术

本实用新型专利技术涉及抽真空设备技术领域，尤其是一种三级混合气冷罗茨真空机组，罗茨泵包括依次连接的一级泵、二级泵和三级泵，二级泵和三级泵上均设有排气口和冷气返气口，冷凝器包括二级冷凝器和三级冷凝器，二级泵排气口通过二级排气管道连接二级冷凝器壳程后通过二级返气管道分别连接至二级泵和三级泵冷气返气口，三级泵排气口通过三级排气管道连接至三级冷凝器壳程后通过三级返气管道分别连接至三级泵第二冷气返气口和二级排气管道，三级返气管道与二级排气管道之间安装阀门。初始时三个泵体同时排气，二级泵和三级泵并联排气，增大排气量，缩短真空时间；当进气口达到一定真空度后，逆止阀关闭，三个泵体串联排气，提高真空度，节约能源。

【技术实现步骤摘要】
一种三级混合气冷罗茨真空机组
本技术涉及抽真空设备
，尤其涉及一种三级混合气冷罗茨真空机组。
技术介绍
气冷罗茨真空机组是目前抽真空的主要设备，现有的气冷罗茨真空机组包括电机、罗茨泵和冷凝器，罗茨泵在泵体侧面适当位置分别开设排气口和冷气返气口，排气口和冷气返气口分别通过排气管道和返气管道连接冷凝器壳程，冷凝器壳程内套设管程，管程内通入冷凝水为气体降温，但是现有的气冷罗茨真空机组效率较低，使待抽真空的气体达到设定真空度的时间较长，浪费能源。
技术实现思路
本技术旨在解决上述问题，提供了一种三级混合气冷罗茨真空机组，其采用的技术方案如下：一种三级混合气冷罗茨真空机组，其特征在于：包括电机、罗茨泵、冷凝器、排气管道、返气管道和阀门，所述罗茨泵包括依次连接的一级泵、第一中壁、二级泵、第二中壁和三级泵，第一中壁上设有连接一级泵和二级泵腔体的气体通道，二级泵和三级泵上均设有排气口和冷气返气口，电机输出轴与伸出一级泵端部的主轴通过联轴器相连；冷凝器包括二级冷凝器和三级冷凝器，所述二级冷凝器和三级冷凝器均包括壳程和套设于壳程内的管程；二级泵排气口通过二级排气管道连接至二级冷凝器壳程，二级冷凝器壳程通过二级返气管道分别连接至二级泵冷气返气口和三级泵第一冷气返气口，三级泵排气口通过三级排气管道连接至三级冷凝器壳程，三级冷凝器壳程通过三级返气管道分别连接至三级泵第二冷气返气口和二级排气管道，与二级排气管道连接的三级返气管道支路与二级排气管道之间安装阀门。作为优选，所述阀门为逆止阀。r>作为优选，所述第二中壁上设有连接二级泵和三级泵腔体的气体通道。作为优选，所述二级泵和三级泵外部设有联通二级泵和三级泵腔体的气体通道。作为优选，所述二级冷凝器和三级冷凝器相互独立。作为优选，二级冷凝器壳程和三级冷凝器壳程相互独立，二级冷凝器管程和三级冷凝器管程相互贯通。作为优选，还包括机架，所述机架为长方体框架结构，机架顶部依次安装电机、联轴器和罗茨泵，机架框架内与二级泵和三级泵对应位置处分别设置二级冷凝器和三级冷凝器。作为优选，二级冷凝器壳程和三级冷凝器壳程通过法兰连接。本技术的有益效果为：本技术初始工作时一级泵、二级泵和三级泵同时排气，二级泵和三级泵为并联排气，增大排气量，缩短达到真空度的排气时间；当一级泵进气口的气体达到一定真空度后，逆止阀关闭，一级泵、二级泵和三级泵实现串联排气，提高真空度，节约能源。附图说明图1：本技术结构主视图；图2：本技术结构左视图；图3：罗茨泵结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术作进一步说明：在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”和“相连”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。如图1至图3所示，一种三级混合气冷罗茨真空机组，其特征在于：包括电机2、罗茨泵、冷凝器、排气管道、返气管道和阀门14，所述罗茨泵包括依次连接的一级泵4、第一中壁5、二级泵6、第二中壁7和三级泵8，一级转子4-1、二级转子6-1和三级转子8-1同轴设置，第一中壁5上设有连接一级泵4和二级泵6腔体的气体通道，第二中壁7上设有连接二级泵6和三级泵8腔体的气体通道，可以减小体积，降低成本，二级泵6和三级泵8上均设有排气口和冷气返气口，电机输出轴与伸出一级泵4端部的主轴通过联轴器3相连。冷凝器包括相互独立的二级冷凝器和三级冷凝器，所述二级冷凝器包括二级冷凝器壳程9和套设于二级冷凝器壳程9内的二级冷凝器管程10，所述三级冷凝器包括三级冷凝器壳程11和套设于三级冷凝器壳程11内的三级冷凝器管程12。二级冷凝器壳程9和三级冷凝器壳程11通过法兰连接。位于二级泵6底部的二级泵排气口31通过二级排气管道21连接至二级冷凝器壳程9，二级冷凝器壳程9通过二级返气管道22分别连接至位于二级泵6一侧的二级泵冷气返气口32和位于三级泵8顶部的三级泵第一冷气返气口35。位于三级泵8一侧的三级泵排气口33通过三级排气管道23连接至三级冷凝器壳程11，三级冷凝器壳程11通过三级返气管道24分别连接至位于三级泵8另一侧的三级泵第二冷气返气口34和二级排气管道21，与二级排气管道21连接的三级返气管道支路与二级排气管道21之间安装阀门14，可以理解的是，三级返气管道支路也可以连接至二级冷凝器壳程9远离二级返气管道22一端处。所述阀门14为逆止阀。还包括机架1，所述机架1为长方体框架结构，机架1顶部依次安装电机2、联轴器3和罗茨泵，机架1框架内与二级泵6和三级泵8对应位置处分别设置二级冷凝器和三级冷凝器。工作原理：在冷凝器管程内通入冷却水，通过一级泵进气口13进入一级泵4腔室内的气体，通过第一中壁5上的气体通道进入二级泵6腔室内，进入二级泵6腔室内的气体分成两路，一路经二级泵6底部的二级泵排气口31和二级排气管道21进入与之连接的二级冷凝器壳程9内，经过冷却水的冷却后经过二级返气管道22分别通过二级泵冷气返气口32和三级泵第一冷气返气口35进入二级泵6和三级泵8腔室内；另一路气体经过第二中壁7上的气体通道进入三级泵8腔室，该路气体经位于三级泵8一侧的三级泵排气口33和三级排气管道23进入与之相连的三级冷凝器壳程11内，气体经过冷却水的冷却后经过三级返气管道24分别进入三级泵8腔室内和二级排气管道21中。此时，一级泵4、二级泵6和三级泵8同时排气，二级泵6和三级泵8为并联排气，增大排气量，缩短一级泵4进气口13的气体达到真空度的排气时间。一级泵4进气口13气体达到一定真空度后，逆止阀14关闭，通过第二中壁7上的气体通道进入三级泵8腔室的另一路气体，经三级泵8一侧的三级泵排气口33和三级排气管道23进入与之相连的三级冷凝器壳程11内，气体经过冷却水的冷却后经过三级返气管道24和三级泵第二冷气返气口34进入三级泵8腔室内。此时，一级泵4、二级泵6和三级泵8排气关系为串联排气，提高真空度，节约能源。上面以举例方式对本技术进行了说明，但本技术不限于上述具体实施例，凡基于本技术所做的任何改动或变型均属于本技术要求保护的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种三级混合气冷罗茨真空机组，其特征在于：包括电机(2)、罗茨泵、冷凝器、排气管道、返气管道和阀门(14)，所述罗茨泵包括依次连接的一级泵(4)、第一中壁(5)、二级泵(6)、第二中壁(7)和三级泵(8)，第一中壁(5)上设有连接一级泵(4)和二级泵(6)腔体的气体通道，二级泵(6)和三级泵(8)上均设有排气口和冷气返气口，电机输出轴与伸出一级泵(4)端部的主轴通过联轴器(3)相连；/n冷凝器包括二级冷凝器和三级冷凝器，所述二级冷凝器和三级冷凝器均包括壳程和套设于壳程内的管程；/n二级泵排气口(31)通过二级排气管道(21)连接至二级冷凝器壳程(9)，二级冷凝器壳程(9)通过二级返气管道(22)分别连接至二级泵冷气返气口(32)和三级泵第一冷气返气口(35)，三级泵排气口(33)通过三级排气管道(23)连接至三级冷凝器壳程(11)，三级冷凝器壳程(11)通过三级返气管道(24)分别连接至三级泵第二冷气返气口(34)和二级排气管道(21)，与二级排气管道(21)连接的三级返气管道支路与二级排气管道(21)之间安装阀门(14)。/n

【技术特征摘要】
1.一种三级混合气冷罗茨真空机组，其特征在于：包括电机(2)、罗茨泵、冷凝器、排气管道、返气管道和阀门(14)，所述罗茨泵包括依次连接的一级泵(4)、第一中壁(5)、二级泵(6)、第二中壁(7)和三级泵(8)，第一中壁(5)上设有连接一级泵(4)和二级泵(6)腔体的气体通道，二级泵(6)和三级泵(8)上均设有排气口和冷气返气口，电机输出轴与伸出一级泵(4)端部的主轴通过联轴器(3)相连；
冷凝器包括二级冷凝器和三级冷凝器，所述二级冷凝器和三级冷凝器均包括壳程和套设于壳程内的管程；
二级泵排气口(31)通过二级排气管道(21)连接至二级冷凝器壳程(9)，二级冷凝器壳程(9)通过二级返气管道(22)分别连接至二级泵冷气返气口(32)和三级泵第一冷气返气口(35)，三级泵排气口(33)通过三级排气管道(23)连接至三级冷凝器壳程(11)，三级冷凝器壳程(11)通过三级返气管道(24)分别连接至三级泵第二冷气返气口(34)和二级排气管道(21)，与二级排气管道(21)连接的三级返气管道支路与二级排气管道(21)之间安装阀门(14)。


2.根据权利要求1所述的一种三级混合气冷罗茨真空机组，其特征在于：所述阀门(14)为逆止阀。

【专利技术属性】
技术研发人员：张汝华，韩强，刘延海，王明钟，张旭，
申请(专利权)人：淄博华中真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37