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本实用新型提供了一种可精确定位基片架的真空室，所述真空室的内部设置有基片架和输送基片架的轨道，真空室相对的两侧分别设置有供基片架进出真空室的入口和出口，所述基片架的行进路径上设置有第一传感组件，所述基片架具有至少两个对应所述第一传感组件的感...
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