下载用于数字PCR多芯片独立实验的导热装置的技术资料

文档序号:26132405

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一种用于数字PCR多芯片独立实验的导热装置,包括导热器;芯片凹槽,其设置在导热器上,用于放置芯片;以及透光上盖板。本实用新型的导热器上表面错落设置的芯片凹槽单元结构,使整个芯片槽内可单独放置一个芯片也可同时放置多个芯片单元,即同时进行多个样...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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