下载一种多晶硅还原炉及隔热组件的技术资料

文档序号:26131450

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本实用新型公开了一种多晶硅还原炉及隔热组件,其中,隔热组件包括隔热套和隔热盖。本方案中隔热组件的隔热套和隔热盖均选用氮化硅制作。氮化硅具有良好的隔热性和韧性,相对于氧化铝陶瓷不容易碎,在高温环境中能够反复多次使用,使用寿命长达30炉次以上,...
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