一种多晶硅还原炉及隔热组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多晶硅还原炉及隔热组件，其中，隔热组件包括隔热套和隔热盖。本方案中隔热组件的隔热套和隔热盖均选用氮化硅制作。氮化硅具有良好的隔热性和韧性，相对于氧化铝陶瓷不容易碎，在高温环境中能够反复多次使用，使用寿命长达30炉次以上，有效延长了隔热组件的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅还原炉及隔热组件
本技术涉及化工
，特别涉及一种多晶硅还原炉及隔热组件。
技术介绍
多晶硅还原炉用于多晶硅生产。现有技术中，多晶硅还原炉包括炉体、电极和硅棒。其中，炉体的炉底设置电极，电极与硅棒通电连接，硅棒垂直于炉底设置。电极上套设有绝缘套，以保证电极与炉体之间的爬电距离，避免电极与炉体通电造成打火。打火会造成多晶硅还原炉无法运行，同时打火产生的电火花会造成区域内的氯硅烷分解，加重炉体内雾化，造成产品质量下降。多晶硅还原炉工作时，炉体内温度较高，会造成绝缘套融化。为了避免绝缘套融化，现有技术中在炉体内设置有隔热组件，用于将绝缘套与炉体的高温进行隔离。现有技术中的隔热组件选用氧化铝陶瓷制作，但是氧化铝陶瓷容易碎，只能使用1-2炉。因此，如何延长隔热组件的使用寿命，成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种隔热组件，以延长隔热组件的使用寿命。本技术还提供了一种多晶硅还原炉。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种隔热组件，适用于多晶硅还原炉，其特征在于，包括：/n隔热套(1)，能够套设在所述多晶硅还原炉的导体(5)上，所述隔热套(1)的下端能够与所述多晶硅还原炉的炉底(3)相抵，所述隔热套(1)为氮化硅隔热套；/n隔热盖(2)，开设有安装孔，所述隔热盖(2)能够通过所述安装孔套设在所述导体(5)上，且与所述隔热套(1)的上端相抵，所述隔热盖(2)为氮化硅隔热盖。/n

【技术特征摘要】
1.一种隔热组件，适用于多晶硅还原炉，其特征在于，包括：
隔热套(1)，能够套设在所述多晶硅还原炉的导体(5)上，所述隔热套(1)的下端能够与所述多晶硅还原炉的炉底(3)相抵，所述隔热套(1)为氮化硅隔热套；
隔热盖(2)，开设有安装孔，所述隔热盖(2)能够通过所述安装孔套设在所述导体(5)上，且与所述隔热套(1)的上端相抵，所述隔热盖(2)为氮化硅隔热盖。


2.根据权利要求1所述的隔热组件，其特征在于，所述隔热套(1)为圆柱形隔热套，所述隔热盖(2)为圆形隔热盖。


3.根据权利要求2所述的隔热组件，其特征在于，所述隔热套(1)与所述隔热盖(2)同轴布置。


4.根据权利要求1所述的隔热组件，其特征在于，所述隔热盖(2)的下端面设置有与所述隔热套(1)的上端配合的限位凹槽。


5.根据权利要求1所述的隔...

【专利技术属性】
技术研发人员：庹如刚，刘斌，唐文东，
申请(专利权)人：四川永祥新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51