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一种紧凑型多波长垂直腔面发射半导体激光器制造技术
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文档序号:26107974
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本实用新型属于半导体光电子技术领域,涉及一种面发射半导体激光器。一种紧凑型多波长垂直腔面发射半导体激光器结构,由蓝宝石衬底,缓冲层,第一底部DBR层,第一下势垒层,第一有源层,隧道结层,电流注入层,第一上势垒层,第一顶部DBR层,欧姆接触层...
该专利属于海南师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过海南师范大学授权不得商用。
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