下载一种去PSG上下料机的技术资料

文档序号:26107059

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本实用新型公开了一种去PSG上下料机,包括上料部分和下料部分,所述上料部分由机架、花篮输送机构、自动换篮机构、伸缩机构、硅片导正机构、硅片缓存机构、硅片横移机构、翻片部分和硅片传送机构组成,所述翻片部分由硅片翻片机构和对接输送机构组成,所述...
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