下载在线式石墨舟装卸片机的技术资料

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本实用新型公开了在线式石墨舟装卸片机,包括机架、石墨舟传送机构、石墨舟横移机构、石墨舟定位机构、插片机构、硅片定位缓存机构、硅片输送机构、硅片缓存机构、夹片机构、伸缩机构、升降机构a、花篮输送机构和花篮切换机构。本实用新型中,该在线式石墨舟...
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