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本实用新型公开了一种用于干法刻蚀LED图形化蓝宝石衬底的托盘，包括托盘本体和设置在托盘本体上的数个载片台，所述载片台的外围设置有环形凹槽，环形凹槽内设置有可上下浮动的定位凸台。所述托盘上还设置有可以方便拆卸更换的定位销。本实用新型可无需借助...
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