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本实用新型涉及一种激光加热装置及其激光加热闭环控制装置,包括激光闭环镜组件、红外测温组件、以及控制组件;激光闭环镜组件安装在激光头出光的方向上,激光闭环镜组件内设有镜片组,使激光头射出的激光穿过和折射,激光闭环镜组件上设有供折射出的光线射出...该专利属于深圳市微组半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市微组半导体科技有限公司授权不得商用。
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