下载一种提高蚀刻过程产品均匀性的工作台的技术资料

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本实用新型公开了一种提高蚀刻过程产品均匀性的工作台,包括往复式驱动装置、衔接式均匀喷洒装置、传送带、支撑架和支撑柱,所述支撑柱设于传送带底部,所述支撑架设于传送带两侧,所述往复式驱动装置设于支撑架内侧,所述衔接式均匀喷洒装置设于往复式驱动装...
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