下载微元件贴合装置及巨量转移系统的技术资料

文档序号:26106927

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本实用新型提供了一种微元件贴合装置及巨量转移系统,其装置包括第一加压加热板、第二加压加热板和检测组件;所述检测组件设置在所述第一加压加热板和/或所述第二加压加热板的侧边,所述检测组件用于在检测到所述微元件陷入至所述微元件承载装置的胶材中时发...
该专利属于重庆康佳光电技术研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过重庆康佳光电技术研究院有限公司授权不得商用。

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