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批次式基板浸泡洗边设备制造技术
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文档序号:26106924
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一种批次式基板浸泡洗边设备,包括一槽体、一升降机构、一旋转机构、以及一洗边构件。所述槽体包括一容槽,用于盛装溶液及用于容纳基板载具及所述基板载具中的基板。所述升降机构,设置在所述槽体上,包括一升降座,所述升降座用于承载所述基板载具;所述旋转...
该专利属于弘塑科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过弘塑科技股份有限公司授权不得商用。
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