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本实用新型公开了一种晶圆真空测试设备，涉及硅晶片测试技术领域。该一种晶圆真空测试设备，包括底板，所述底板的上端连接有抽气机构，所述抽气机构的上端连接有放置机构，所述抽气机构包括固定连接于底板上端的处理箱，所述处理箱的内底部上的防噪音箱，所述...
该专利属于陈萍萍所有，仅供学习研究参考，未经过陈萍萍授权不得商用。

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