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本实用新型公开了一种应用于扫描电子显微镜硅片样品镀铂金的载体，它不但可以同时加工多个硅片样品，同时也便于区分，另外可以使硅片样品的表面与断面能够均匀镀上铂金。它是一个平台，在平台表面上开有一个以上的槽，所述的样品可以倾斜地静置在所述槽内。所...
该专利属于上海华虹NEC电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹NEC电子有限公司授权不得商用。

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