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本实用新型提供的用于光学投影光刻机的自动对焦装置，包括激光器、激光能量调节器、扩束器、准直透镜、叉丝、成像透镜、分光棱镜、监视系统透镜、监视系统、二向色镜、电子变焦透镜、投影微缩镜头、感光材料及光刻平台，所述感光材料位于所述光刻平台上，本实...
该专利属于深圳市深大极光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市深大极光科技有限公司授权不得商用。

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