一种用于光学投影光刻机的自动对焦装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供的用于光学投影光刻机的自动对焦装置，包括激光器、激光能量调节器、扩束器、准直透镜、叉丝、成像透镜、分光棱镜、监视系统透镜、监视系统、二向色镜、电子变焦透镜、投影微缩镜头、感光材料及光刻平台，所述感光材料位于所述光刻平台上，本实用新型专利技术提供的用于光学投影光刻机的自动对焦装置及对焦方法，通过改变电子变焦透镜的焦距来对焦，调节响应速度快，与机械对焦相比可以快速地使光刻机的光刻图像重新对准焦，适用于光刻机需要快速工作的要求。

【技术实现步骤摘要】
一种用于光学投影光刻机的自动对焦装置
本技术涉及光刻机对焦
，特别涉及一种用于光学投影光刻机的自动对焦装置。
技术介绍
光刻机是全息防伪、衍射光学元件和微光学元件制造以及集成电路和微电子元件制造的关键设备，光刻技术是推动微光学和微电子技术发展的核心动力，其主要作用是进行曝光。光学投影光刻机是最常见的一类光刻机，将所需图像通过投影微缩镜头缩小，成像于感光材料，感光材料发生化学反应，将图像保留在感光材料上。在曝光的过程中，由于感光材料本身和涂敷感光材料的基底存在起伏，厚度存在差异，以及投影镜头的焦平面位置存在偏差时，会严重影响最终生成的图像质量，无法生产出高质量的光刻产品。因此，必须控制投影微缩镜头的对焦，使得整个曝光过程中，感光材料表面位于投影镜头的成像平面上，保证成像在感光材料表面的图像是最清晰的。对于光学投影光刻系统，一般情况下光刻的图像会经过投影微缩镜头被缩小为一个非常小的图像，利用该图像来进行自动对焦对整个对焦系统的分辨率要求很高，无论是带有摄像设备的自动对焦系统，还是借助人眼观察是否对焦，都必须引入显微镜头对图像进行放大，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于光学投影光刻机的自动对焦装置，其特征在于，包括激光器、激光能量调节器、扩束器、准直透镜、叉丝、成像透镜、分光棱镜、监视系统透镜、监视系统、二向色镜、电子变焦透镜、投影微缩镜头、感光材料及光刻平台，所述感光材料位于所述光刻平台上，其中：/n所述激光器出射的激光光束依次经过所述激光能量调节器、扩束器及准直透镜后得到平行光，所述平行光照射在所述叉丝上，经所述叉丝后携带有叉丝信息的平行光束经过所述成像透镜成像，再经所述分光棱镜投射后到达所述二向色镜，并经所述二向色镜反射后进入所述电子变焦透镜，再经所述投影微缩镜头成像于所述感光材料的表面；/n成像于所述感光材料表面的叉丝图像再依次经所述投影...

【技术特征摘要】
1.一种用于光学投影光刻机的自动对焦装置，其特征在于，包括激光器、激光能量调节器、扩束器、准直透镜、叉丝、成像透镜、分光棱镜、监视系统透镜、监视系统、二向色镜、电子变焦透镜、投影微缩镜头、感光材料及光刻平台，所述感光材料位于所述光刻平台上，其中：
所述激光器出射的激光光束依次经过所述激光能量调节器、扩束器及准直透镜后得到平行光，所述平行光照射在所述叉丝上，经所述叉丝后携带有叉丝信息的平行光束经过所述成像透镜成像，再经所述分光棱镜投射后到达所述二向色镜，并经所述二向色镜反射后进入所述电子变焦透镜，再经所述投影微缩镜头成像于所述感光材料的表面；
成像于所述感光材料表面的叉丝图像再依次经所述投影微缩镜头及所述电子变焦透镜进入所述二向色镜，...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄燕燕，王笑冰，阚凌雁，柯华恒，
申请(专利权)人：深圳市深大极光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44