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本实用新型公开了一种薄膜电光调制器芯片，包括：基底晶片、粘接层以及薄膜基板、光学波导、金属电极，所述薄膜基板放置于基底晶片的上方，所述粘接层放置于所述基底晶片和薄膜基板之间，所述金属电极放置于薄膜基板的上表面，其中，所述光学波导形成于薄膜基...
该专利属于天津领芯科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津领芯科技发展有限公司授权不得商用。

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