下载一种基于HEMT气体传感器的气体检测装置的技术资料

文档序号:26103279

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本实用新型提供了一种基于HEMT气体传感器的气体检测装置。所述装置包括:依次连接的待测气体罐、气体检测腔室、尾气处理腔室;以及与气体检测腔室连接的测量电路;其中,所述气体检测腔室包括AlGaN/GaN基HEMT气体传感器,以及设置于所述气体...
该专利属于中国科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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