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本实用新型涉及一种电镜样品前处理设备，包括处理箱、射频离子源、气路系统及真空泵组；处理箱内设有样品腔室；射频离子源连接处理箱并与样品腔室连通；气路系统连接射频离子源，气路系统为射频离子源提供所需的气源；真空泵组连接处理箱并与样品腔室连通，真...
该专利属于深圳市速普仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市速普仪器有限公司授权不得商用。

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