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本实用新型公开了一种硅微通道电化学腐蚀试验装置，包括带有HF腐蚀液的电解槽、恒电位仪以及阵列式LED灯，所述电解槽内设有与n型硅电极相插接的第一插接槽、与饱和甘汞电极相插接的第二插接槽以及与铂电极相插接的第三插接槽，所述n型硅电极、饱和甘汞...
该专利属于李连玉;刘菊耀;马铭辰;王双双所有，仅供学习研究参考，未经过李连玉;刘菊耀;马铭辰;王双双授权不得商用。

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