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本实用新型公开了一种检测晶圆厚度设备，旨在提供一种使用方便、检测效率高及检测结果可靠的检测晶圆厚度设备。本实用新型包括底板，所述底板上设置有XY运动平台及检测支架，所述XY运动平台上设置有载台，所述检测支架的上下端分别位于所述载台的上下两侧...
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