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本实用新型提供了一种晶圆传动机械臂校准用测试片，用于机台中若干机械臂的相对位置关系的校准，若干机械臂标准的相对位置关系能够根据机台型号确定，测试片为板状结构，规格与传送晶圆一致，且由透明材料制成；测试片上标记有若干标准圆，标准圆位于测试片的...
该专利属于芯恩(青岛)集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩(青岛)集成电路有限公司授权不得商用。

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