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本发明提供一种不需要预处理而能够对腐蚀性气体中的杂质、氟化氢进行测定、分析的高灵敏度的方法及装置。所使用的是一种气体分析方法及气体分析装置，其通过傅里叶变换红外光谱仪来对包含腐蚀性气体的试样中的氟系气体进行测定，其中，傅里叶变换红外光谱仪设...
该专利属于关东电化工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过关东电化工业株式会社授权不得商用。

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