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本发明实施例涉及光刻技术领域，公开了一种异形玻璃掩膜版生产方法，该方法通过接收待生产掩膜版图形，通过CAM系统对所述待生产掩膜版图形进行处理；根据CAM系统的处理结果，对玻璃掩膜版进行常规工艺处理；对常规工艺处理后玻璃掩膜版进行异性工艺处理...
该专利属于深圳清溢光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳清溢光电股份有限公司授权不得商用。

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