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一种可用于定量测量和控制湿度的电容式有机膜湿度传感器包括有上、下电极，硅片，二氧化硅层，用聚酰亚胺高分子有机膜作介质的感湿膜。特征在于它采用了硅片本身作为下电极，其上是二氧化硅层，在此上面是感湿膜，感湿膜上是用金属铝层制作的上电极。该湿度传...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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