【技术实现步骤摘要】
一种可用于定量测量和控制湿度的电容式有机膜湿度传感器可广泛应用于农业、纺织、电子、医药、食品、空调等行业中一切需测量和监控湿度的部门。目前各部门使用的温度传感器尽管品种很多，但普遍存在着稳定性、重复性及互换性差，精度不高，参数分散性大等技术性能上的缺陷。为解决上述问题，目前又研制出一种电容式有机膜湿度传感器，该传感器中引入了一种新型材料－聚酰亚胺高分子有机膜。这种类型的湿度传感器其结构参见示意图1，它是由硅片，其上的二氧化硅层，在此上面的、采用同心园状双层金属制作的下、上电极，及夹于上下电极之间的、用聚酰亚胺高分子有机膜作为介质的感湿膜构成。这种湿度传感器由于引入了具有优良的耐高温性、热稳定性、电绝缘性、化学稳定性的聚酰亚胺高分子有机膜，使得该湿度传感器克服了前述绪多湿度传感器技术性能上的缺陷，具有良好的热稳定性、重复性和高精度等性能。但用来作为感湿膜介质的聚酰亚胺高分子有机膜存在两大缺点一是在制造过程中很难保证聚酰亚胺高分子有机膜没有针孔和破损，因此极易造成上、下电极间的短路；二是在使用过程中难以保证聚酰亚胺高分子有机膜厚度均匀，加之感湿膜层只有0.8～1...
【技术保护点】
一种用于定量测量和控制湿度的电容式有机膜湿度传感器包括有上、下电极，用聚酰亚胺高分子有机膜作介质的感湿膜，二氧化硅层和硅片，本实用新型的特征在于，它是采用硅片本身作为下电极，其上是二氧化硅层，在此之上是用聚酰亚胺高分子有机膜作介质的感湿膜，感湿膜上是用金属铝层制作的上电极。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：邹德恕，王东风，高国，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]
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