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ASML荷兰有限公司
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具有改善的信号电子检测性能的多束检测设备制造技术
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下载具有改善的信号电子检测性能的多束检测设备的技术资料
文档序号:26045323
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本公开提出了一种用于将多个电子束引导到电子检测装置上的光电系统的交叉形成偏转器阵列。交叉形成偏转器阵列包括位于光电系统的一个或多个光电透镜的集合的图像平面处或至少附近的多个交叉形成偏转器,其中每个交叉形成偏转器与多个电子束中的对应的电子束对...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。
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