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提供了用于对晶圆和光掩模进行组合检查的系统、装置和方法。在一些实施方式中，提供了一种卡盘，该卡盘包括：可去除插入件，其中，所述可去除插入件被配置为当所述卡盘处于第一配置时支撑晶圆，使得所述晶圆的检验表面位于聚焦范围内，其中，在所述第一配置时...
该专利属于毫微光电子影像股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过毫微光电子影像股份有限公司授权不得商用。

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