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文档序号:26045085

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具备:基板(31),具有一面(31a);第1金属膜(36),形成在一面上;绝缘膜(37),在一面(31a)上以将第1金属膜(36)覆盖的状态形成,并形成有使第1金属膜(36)露出的接触孔(37a);以及第2金属膜(38),形成在从第1金属膜...
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