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本发明公开了一种双向直线补偿多层金属波纹管真空密封装置,包括三段同心安装的波纹管:波纹管一,波纹管二,波纹管三,以及法兰一,限位杆,法兰二,法兰三,伸缩拉杆,法兰四,驱动杆,所述三段同心安装的波纹管最外层为波纹管一,中间层为波纹管二,最内层...该专利属于中国科学院合肥物质科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院合肥物质科学研究院授权不得商用。
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本发明公开了一种双向直线补偿多层金属波纹管真空密封装置,包括三段同心安装的波纹管:波纹管一,波纹管二,波纹管三,以及法兰一,限位杆,法兰二,法兰三,伸缩拉杆,法兰四,驱动杆,所述三段同心安装的波纹管最外层为波纹管一,中间层为波纹管二,最内层...