【技术实现步骤摘要】
一种双向直线补偿多层金属波纹管真空密封装置
本专利技术涉及真空密封
，具体涉及一种双向直线补偿多层金属波纹管真空密封装置。
技术介绍
金属波纹管被广泛应用于密封和能量传递，通过对金属膜片的压缩和拉伸进行往复运动，获得需要的位移量。波纹管在压缩状态下工作时的允许压缩位移量比工作在拉伸状态下的允许拉伸位移量要大，所以在设计波纹管时应尽可能让波纹管在压缩状态下工作。通过实验发现，在一般情况下，同一材料、同一规格的波纹管，其允许的压缩位移是允许的拉伸位移的1.5倍。当对直线方向上居中布置的驱动部件进行密封时，两侧的波纹管必然会间歇处于压缩和拉伸的状态，且最大位移只能由波纹管的拉伸量决定。目前用于直线补偿的金属波纹管，主要依靠压缩来获得有限的补偿量。当需要较大的补偿量时，通常采用多个波纹管串联的形式，该方法仅适用于获得单向位移补偿的场合。无论是单个波纹管实现双向直线运动补偿还是多个波纹管串联实现双向直线运动补偿，在拉伸和压缩重复使用的情况下，由于没有限位作用，易造成波纹管的塑性变形，进而造成局部损伤。
技术实现思路
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【技术保护点】
1.一种双向直线补偿多层金属波纹管真空密封装置，其特征在于：包括三段同心安装的波纹管：波纹管一，波纹管二，波纹管三，以及法兰一，限位杆，法兰二，法兰三，伸缩拉杆，法兰四，驱动杆，所述三段同心安装的波纹管最外层为波纹管一，中间层为波纹管二，最内层为波纹管三；/n波纹管一的右侧端面与波纹管二的右侧端面通过法兰二连接，波纹管二的左侧端面与波纹管三的左侧端面通过法兰三连接；波纹管一的左端通过法兰一与真空室安装，波纹管三的右端通过法兰四与驱动杆连接；法兰一与法兰二通过限位杆连接，法兰三与法兰四通过伸缩拉杆连接；波纹管二与波纹管三的具有相同的伸长压缩量，波纹管一长度比波纹管二和波纹管三...
【技术特征摘要】
1.一种双向直线补偿多层金属波纹管真空密封装置，其特征在于：包括三段同心安装的波纹管：波纹管一，波纹管二，波纹管三，以及法兰一，限位杆，法兰二，法兰三，伸缩拉杆，法兰四，驱动杆，所述三段同心安装的波纹管最外层为波纹管一，中间层为波纹管二，最内层为波纹管三；
波纹管一的右侧端面与波纹管二的右侧端面通过法兰二连接，波纹管二的左侧端面与波纹管三的左侧端面通过法兰三连接；波纹管一的左端通过法兰一与真空室安装，波纹管三的右端通过法兰四与驱动杆连接；法兰一与法兰二通过限位杆连接，法兰三与法兰四通过伸缩拉杆连接；波纹管二与波纹管三的具有相同的伸长压缩量，波纹管一长度比波纹管二和波纹管三长；法兰四的外径大于法兰二的内径；法兰三的外径大于法兰一的内径。
2.根据权利要求1所述的一种双向直线补偿多层金属波纹管真空密封装置，其特征在于：
所述限位杆左端为光杆，固定安装在法兰一上，右端加工外螺纹，穿过法兰二上的孔，在外侧安装螺母用于限制法兰一和法兰二之间的距离，从而限制波纹管一的伸长。
3.根据权利要求1所述的一种双向直线补...
【专利技术属性】
技术研发人员：李波，雷明准，徐淑玲，卯鑫，尹洲，李纯元，刘松林，
申请(专利权)人：中国科学院合肥物质科学研究院，
类型：发明
国别省市：安徽;34
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