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利用波长位于可见光两端附近的两束平面相干光（１３，１４）来检测缺陷。例如，由激光二极管（１１，１２）产生的两束基本上位于与产品表面（２）相互交的同一平面（Ｐ）内的光，这两束光的走向相互倾斜，形成基本相等的入射角（ｉ），以便在该表面上产生唯一...
该专利属于联合金属公司所有，仅供学习研究参考，未经过联合金属公司授权不得商用。

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