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文档序号:2601537
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本发明提供一种具有聚合物小球(P)的校验晶片(W),晶片上的这些聚合物小球(P)在某一温度范围内经受热处理,在此温度范围内这些聚合物小球开始软化。...
该专利属于西门子公司所有,仅供学习研究参考,未经过西门子公司授权不得商用。
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