下载一种激光划片定位机构的技术资料

文档序号:26014725

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本实用新型属于激光划片技术领域,尤其为一种激光划片定位机构,包括基座,所述基座的顶部滑动连接有Y轴导座,所述Y轴导座的顶部滑动连接有X轴导座,所述X轴导座的顶部固定有真空装置,所述真空装置的上方设置有夹环装置;所述真空装置的顶部设置有放置台...
该专利属于上海根派半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海根派半导体科技有限公司授权不得商用。

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