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一种确定湿法腐蚀工艺过程的终点的方法，包括选择入射光束的相干长度的步骤，使得相干长度足够短以致在液体层中不发生干涉，而足够长以致在薄固体膜，即，从液体层与该薄膜顶面间的界面上的反射光，和从该薄膜底面与衬底之间的界面上的反射光能发生干涉。若液...
该专利属于西门子公司;国际商业机器公司所有，仅供学习研究参考，未经过西门子公司;国际商业机器公司授权不得商用。

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