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一种高精度角度微调机构制造技术
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文档序号:26013404
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本发明适用于转台微调定位技术领域,具体是一种高精度角度微调机构,包括转盘;该机构还包括基础台;所述基础台上连接有可进行X轴方向横向滑动的滑台结构,而滑台结构上设有可以为滑动气浮块提供张紧力的张紧机构,滑动气浮块可利用张紧机构提供的张紧力挤压...
该专利属于青岛前哨精密仪器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛前哨精密仪器有限公司授权不得商用。
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