一种高精度角度微调机构制造技术

本发明专利技术适用于转台微调定位技术领域，具体是一种高精度角度微调机构，包括转盘；该机构还包括基础台；所述基础台上连接有可进行X轴方向横向滑动的滑台结构，而滑台结构上设有可以为滑动气浮块提供张紧力的张紧机构，滑动气浮块可利用张紧机构提供的张紧力挤压配轴气浮块；所述配轴气浮块通过转轴安装在所述转盘上；可以绕着转盘中心轴转动的转盘，在张紧机构提供张紧力后，滑动气浮块可利用张紧机构提供的张紧力挤压配轴气浮块，在转盘只能绕着转盘中心轴转动的限制下滑动气浮块沿Y轴方向纵向位移，转轴参照转盘沿逆时针方向做微角度运动，将简单的微直线运动转换成复杂的微角度运动，达成了角度微调的高精度性及高稳定性的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种高精度角度微调机构
本专利技术涉及转台微调定位
，具体是一种高精度角度微调机构。
技术介绍
气吸附台为精密运动平台设计的理想选择，配合高精度气浮导轨，能够提供较高的直线或旋转基准，相比传统的线轨机械式结构具有超低摩擦、高稳定性的特点。其中传统的微直线运动转换方式，比较简单，其稳定性和精度都较低，造成调节效果差。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种高精度角度微调机构，以解决传统的微直线运动转换方式，比较简单，其稳定性和精度都较低，造成调节效果差的问题。为实现上述目的，具体提供如下技术方案：一种高精度角度微调机构，包括可以绕着转盘中心轴转动的转盘；该机构还包括基础台；所述基础台上连接有可进行X轴方向横向滑动的滑台结构，而滑台结构上设有可以为滑动气浮块提供张紧力的张紧机构，滑动气浮块可利用张紧机构提供的张紧力挤压配轴气浮块；所述配轴气浮块通过转轴安装在所述转盘上。可以绕着转盘中心轴转动的转盘，在张紧机构提供张紧力后，滑动气浮块可利用张紧机构提供的张紧力挤压配轴气浮块本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精度角度微调机构，其特征在于，/n包括绕着转盘中心轴转动的转盘；/n该机构还包括基础台；/n所述基础台上连接有可进行X轴方向横向滑动的滑台结构，而滑台结构上设有为滑动气浮块提供张紧力的张紧机构，滑动气浮块可利用张紧机构提供的张紧力挤压配轴气浮块；/n所述配轴气浮块通过转轴安装在所述转盘上。/n

【技术特征摘要】
1.一种高精度角度微调机构，其特征在于，
包括绕着转盘中心轴转动的转盘；
该机构还包括基础台；
所述基础台上连接有可进行X轴方向横向滑动的滑台结构，而滑台结构上设有为滑动气浮块提供张紧力的张紧机构，滑动气浮块可利用张紧机构提供的张紧力挤压配轴气浮块；
所述配轴气浮块通过转轴安装在所述转盘上。


2.根据权利要求1所述的一种高精度角度微调机构，其特征在于，所述滑台结构为气浮滑台，并X轴方向横向滑动连接在基础台提供的滑轨上。


3.根据权利要求1所述的一种高精度角度微调机构，其特征在于，
所述张紧机构安装在张紧块，并利用张紧块安装在滑台结构上，张紧块可为张紧机构在提供张紧力的过程中提供支撑力；
所述张紧机构在远离张紧块一端设置在L型气浮滑块上；
所述L型气浮滑块通过自身设置的两个气浮面分别与滑动气浮块和滑台结构接触，进行相对滑台结构沿X轴方向横向位移。

【专利技术属性】
技术研发人员：李明富，王世雷，宋述锡，梁邦远，孙佳卓，王海川，宁宇航，
申请(专利权)人：青岛前哨精密仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37