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用于硬脆单晶圆柱外圆超声振动辅助磨削的全自动磨床，涉及机械设备技术领域。为解决现有的在对硬脆单晶圆柱外圆表面进行磨削时，采用的磨削液为碱性或者酸性，长期使用会腐蚀机床，导致对工件的装夹精度降低，加工出零件的表面精度降低，并且采用人工的方式进...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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