下载一种ETCH设备中阳极氧化部件面污染物的洗净方法的技术资料

文档序号:26011976

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本发明公开了一种ETCH设备中阳极氧化部件面污染物的洗净方法,在阳极氧化部件清洗过程中,使用干冰喷砂方式预处理表面附着物,然后再配合弱碱性试剂擦拭和物理打磨方式完成表面污染物的清洁,提高了阳极氧化件清洗再生的效率,同时减少了传统清洗方式下过...
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