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石英晶体微量天平传感器制造技术
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下载石英晶体微量天平传感器的技术资料
文档序号:2600701
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一种QCM传感器,在晶体前面和背面上相对地配置电极的传感器装置的电极浸没在试料气体或试料溶液时,根据主谐振频率或阻抗的变化检测和定量分析试料成分的。传感器装置作成在晶体基片10的前面、背面上设置4个对置电极(11A-14A,12B-14B)...
该专利属于株式会社明电舍;小山升所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社明电舍;小山升授权不得商用。
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